TRANSPECTOR® SPS 殘余氣體分析儀

INFICON Transpector® 單壓取樣 (SPS) 殘余氣體分析儀為目標(biāo)高壓過(guò)程提供zui佳半導(dǎo)體晶圓和顯示屏面板保護(hù)。憑借適合單壓應(yīng)用的zui敏感空氣泄漏和過(guò)程污染檢測(cè)，Transpector SPS 可zui大程度減少晶圓和面板報(bào)廢。它具有業(yè)內(nèi)率先的檢測(cè)限值和測(cè)量速度，確保晶圓和面板產(chǎn)品的質(zhì)量和數(shù)量。Transpector SPS 提供zui可靠的過(guò)程監(jiān)控，確保實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的高壓過(guò)程，進(jìn)而zui大程度提高過(guò)程能力和產(chǎn)量。該儀器融合了簡(jiǎn)單且高成本效益的入口系統(tǒng)與經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的離子源和泵組，以提供低風(fēng)險(xiǎn)、高回報(bào)的氣體分析解決方案。Transpector SPS 是一種經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的解決方案，適用于真空電弧重熔 (VAR) 等冶金和熱處理應(yīng)用，且是一般真空和工業(yè)應(yīng)用的理想之選。Transpector SPS 可根據(jù)具體應(yīng)用和預(yù)算進(jìn)行配置和定制。 針對(duì)從 1E-4 Torr 到大氣的取樣過(guò)程壓強(qiáng)，均可選用標(biāo)準(zhǔn)孔板、劈刀和旁路線組合。耐腐蝕入口、離子源和泵組的設(shè)計(jì)可確保在蝕刻、CVD、ALD 和其他腐蝕性氣體過(guò)程中的耐受性。