新型 INFICON 皮拉尼壓電組合真空計 （PPG570） 基于*先進的 MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器技術，該技術也用于我們的 PPG550“ATM 至中真空”壓力計。

PPG570與PPG550的區(qū)別在于附加安裝的ATM傳感器，允許在經(jīng)典的負載鎖定應用中使用PPG570。例如，在半導體行業(yè)或任何其他真空應用中，相對于大氣環(huán)境壓力的精準壓力測量非常重要。

在MEMS工藝中小型化的皮拉尼/壓電組合技術可以構建一個非常小的傳感器，從而節(jié)省空間，這使得測量設備的整體高度非常小成為可能。

除了高度低的優(yōu)勢外，基于MEMS技術的皮拉尼還具有在高壓范圍內(nèi)比經(jīng)典皮拉尼更深、更精準地測量的優(yōu)勢。結合安裝在同一法蘭上的MEMS壓電傳感器，皮拉尼真空計成為真正的真空寬量程計，將測量范圍擴展到遠遠超過通常的1000 mbar，也朝向大氣。同時，MEMS壓電傳感器提供2 ...1333毫巴。上述技術的另一個優(yōu)點是增加了對加速力和振動的抵抗力。

*后但并非*不重要的一點是，新型 INFICON PPG570 可用于直接插入，以取代所謂的 MKS 儀器 MKS901P“微型皮拉尼?和壓電負載鎖真空壓力傳感器”。PPG570具有相同的連接器/引腳分配，模擬輸出和RS232/485數(shù)字通信協(xié)議兼容性。

好處
1，氣體類型與 2 mbar 以上無關 – 允許使用任何氣體混合物安 全排氣
2，在大氣中具有高精度和可重復性 – 用于可靠、快速的大氣壓檢測
3，大氣環(huán)境壓力測量
4，多達 3 個固態(tài)繼電器
5，安裝方向的多功能 – 為工具設計提供工程自由度
6，可選模擬輸出信號，便于系統(tǒng)集成
7，數(shù)字接口 RS232/ RS485
8，能夠直接插入替換MKS901P“微型皮拉尼? - 和壓電負載鎖真空壓力傳感器”。
9，合規(guī)性和標準：CE，EN，UL，CSA，RoHS

典型應用
1，半導體負載鎖應用
2，用于分析設備/質量分離計
3，物**相沉積
4，物**相沉積