如何選擇INFICON真空計

日期：2025-11-09 00:43

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摘要：如何選擇INFICON真空計　　　　一，皮拉尼真空計PSG500 　　　　1.皮拉尼真空計原理　　　　加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度　　　　由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時帶走了能量，電阻絲的溫度會發生變化　　　　熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關系　　　　2.衍生出兩種類型的皮拉尼規　　　　 1，穩定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICONPSG500）　　　　 2，穩定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規）　　　　 3.氣體的熱傳導，與下列提條件有關: ...

如何選擇INFICON真空計
　　
　　一，皮拉尼真空計PSG500
　　
　　1.皮拉尼真空計原理
　　
　　加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度
　　
　　由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時帶走了能量，電阻絲的溫度會發生變化
　　
　　熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關系
　　
　　2.衍生出兩種類型的皮拉尼規
　　
　　 1，穩定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICONPSG500）
　　
　　 2，穩定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規）
　　
　　 3.氣體的熱傳導，與下列提條件有關:
　　
　　   1，氣體類型
　　
　　   2，壓力大小
　　
　　 4.皮拉尼真空計測量范圍與精度
　　
　　測量范圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮氣）：5x10-4至1000mbar
　　
　　精度（氮氣）:1x10-3…100毫巴±15%
　　
　　 5x10-4…1x10-3毫巴±50%
　　
　　 100...1000毫巴±50%
　　
　　 5.皮拉尼真空計的優特點
　　
　　   燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以*大的保護，大大延長了燈絲的使用壽命
　　
　　6.皮拉尼真空計具體型號
　　
　　 PSG050/051
　　
　　 PSG100-SPSG101-S
　　
　　 PSG500/500-SPSG502
　　
　　皮拉尼電容膜片復合真空計PCG400PCG410PCG550
　　
　　 1.有皮拉尼規與特制的陶瓷薄膜規合成在一起
　　
　　 2.兩種原理的規管全過程都工作
　　
　　 3.100mbar—1000mbar使用薄膜規信號
　　
　　 4.1mbar–100mbar兩規信號同時采用
　　
　　 5.5x10-4mbar–1mbar采用皮拉尼信號
　　
　　 6.輸出的真空度信號（電壓）連續，無跳躍
　　
　　 7.皮拉尼真空計應用行業
　　
　　各種高真空泵的前級壓力測量，如光伏，鍍膜，等離子行業
　　
　　各種中低真空測量，如照明，冶金
　　
　　真空連鎖控制，高真空計的點火開關控制，如PEG100
　　
　　 PSG050可完全替代TR211，PSG051可完全替代TR216
　　
　　 PCG400,PCG410（現在已升級為PCG550，PCG400/PCG410已經停產）與PSG500基本相同，但彌補了皮拉尼規大氣測量段精度不足的弱點，而且不受氣體類型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍寶石爐上廣泛應用
　　
　　 PSG100PSG101，與PSG500/PSG050基本相同，但因為具有通訊協議功能，在大系統中應用廣泛
　　
　　二，電容薄膜規CDG025D/CDG045D/100D/160D/200D
　　
　　 1.電容薄膜規工作原理
　　
　　壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關系
　　
　　通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度
　　
　　2.電容薄膜規特點
　　
　　以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎構成
　　
　　在嚴酷和腐蝕性環境中,穩定與可靠的高精度壓強測量
　　
　　快速的預熱和恢復時間,提高生產率
　　
　　 **的長期穩定性,再現性和重復性
　　
　　由于電子學直接安裝在傳感器上,改進了溫度補償和EMC兼容性
　　
　　對環境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩定
　　
　　快速預熱在開機的一分鐘內達到快速穩定和進入準備使用狀態
　　
　　一鍵按鈕:調零功能和設點調整
　　
　　抗腐蝕超純陶瓷傳感器
　　
　　能經受數百萬次壓強循環周期,包括大氣壓沖擊,無任何降低性能的跡象
　　
　　暴露大氣壓后快速恢復,無需隔離閥
　　
　　對蒸氣介質不敏感
　　
　　先進的傳感器屏蔽（**）延長真空計在污染的工藝過程中的使用壽命
　　
　　3.INFICON陶瓷技術
　　
　　 陶瓷技術的優越性
　　
　　 1，無“記憶”效應
　　
　　 2，陶瓷無疲勞問題
　　
　　 3，*好的溫度補償
　　
　　 4，**的零點穩定性
　　
　　低使用成本
　　
　　 1.非凡的使用壽命
　　
　　 2.無需隔離閥
　　
　　 4.SkyCDG025D測量范圍
　　
　　 5.加熱型薄膜規
　　
　　 6.加熱型優點
　　
　　零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環境）
　　
　　更高的精度
　　
　　環境溫度變換/環境壓力變化/環境氣流變化對精度無影響
　　
　　比工藝更快的預熱啟動時間’
　　
　　快速恢復時間大氣壓<1minwithin5mV
　　
　　任意安裝角度
　　
　　抗污染，可有效抵抗工藝氣體或工藝產生氣體的腐蝕影響
　　
　　 7.電容薄膜規的應用
　　
　　要求高的應用條件下，**而快速的壓強測量
　　
　　用于刻蝕，CVD,PVD,ALD半導體設備制造，如太陽能光伏行業的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好。一般國內用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如德國Ruth&Rau公司的PECVD設備標配產品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質量流量計用的是1179BX23CR14VSPC1800sccm/SiH4 和1179BX5CR14NSPC12000sccm/NH3，國內用的好多PECVD設備上用的是INFICON的CDG025D。
　　
　　資料貯存和顯示器制造設備
　　
　　工業真空設備
　　
　　常用高精度真空測量
　　
　　三，熱電離規
　　
　　1.熱電離規原理
　　
　　Richardson效應:高溫燈絲發射電子，高能量電子撞擊氣體分子，氣體分子的一個或多個電子被撞擊出去，形成帶正電的離子
　　
　　 1）帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出
　　
　　 2）離子流的大小與氣體壓力成比例關系
　　
　　2.兩種類型熱電離規
　　
　　3.熱電離型復合規
　　
　　 HPG400
　　
　　 BPG400/-SP/-SD/SR
　　
　　 BPG402
　　
　　 BCG450B-A規，皮拉尼規，薄膜規三種型號復合在一起
　　
　　
　　
　　4.優點及應用
　　
　　 BPG400
　　
　　測量范圍寬，一個規管覆蓋13個量程5x10-10–1000mbar
　　
　　精度高，極好的重復性5%
　　
　　燈絲材料鍍釔的銥絲有極好的抗氧化能力，皮拉尼自鎖保護，使燈絲并不會因突然暴露大氣而燒毀。
　　
　　方便的校準調節
　　
　　 注意事項：
　　
　　對氣體有選擇性
　　
　　抗污染能力弱
　　
　　普遍應用于從低到超高真空的測量
　　
　　在工業，半導體，研究行業應用廣泛
　　
　　 BPG402
　　
　　雙燈絲，大大延長使用壽命
　　
　　電離規的工作可以自定義控制
　　
　　探頭備件自帶校準參數，保證精度與重復性
　　
　　 HPG400
　　
　　電離規與皮拉尼的復合
　　
　　皮拉尼自鎖保護電離規
　　
　　電離規的工作啟動點可以一定范圍內自定義
　　
　　簡易的校準功能
　　
　　相對便宜的價格
　　
　　 BCG450
　　
　　可調的電離規工作起點
　　
　　 **的重復性
　　
　　 **的大氣端測量
　　
　　四，冷電離規（潘寧規） PEG100/050
　　
　　 1.冷電離規原理
　　
　　通過氣體放電方式產生電子，通過磁場使電子獲得能量將氣體分子電離
　　
　　 2.潘寧規特點與應用
　　
　　測量范圍：5x10-9to1x10-2mbar
　　
　　全金屬密封
　　
　　無燈絲
　　
　　易清洗
　　
　　應用于普通的高真空測量
　　
　　3.冷規復合規MPG400特點與應用
　　
　　冷規與皮拉尼規的復合
　　
　　測量范圍廣：5x10-9-1000mbar
　　
　　易于保養清洗
　　
　　無高真空燈絲，
　　
　　應用于普通高真空測量

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